常见镀膜材料及镀膜装置的选择

蒸镀材料种类：按照化学成分主要可以分为金属/非金属颗粒蒸发料、氧化物蒸发料、氟化物蒸发料等。

金属及非金属颗粒：铝蒸发料、镍蒸发料、铜蒸发料、银蒸发料、钛蒸发料、硅蒸发料、钒蒸发料、镁蒸发料、锡蒸发料、铬蒸发料、铟蒸发料、银铜蒸发料、金蒸发料、微晶银粉等。

氧化物：钛钽合金、锆钛合金、硅铝合金、三氧化二铝、二氧化锆、五氧化三钛、石英环、石英片、氧化铒、钛酸镧等

氟化物：氟化镁、氟化镝、氟化镧等。