以下几种情况可以引起起辉不正常：1、靶材（阴极）短路了，可以用摇表测一下（也可用万用表，不过万用表的电压太低，可能测不准确）2、靶材表面太脏，起辉时打弧放电厉害，导致电源灭弧太频繁无法稳定起辉，可先低功率用纯氩烧会儿靶3、磁块可能松动甚至翻转了，导致磁场变弱，这会造成起辉困难4、溅射气压不合适，建议溅射气压在0.5Pa左右5、通错溅射气了（我们以前曾把检漏用的氦气当成氩气用了，结果起辉电压非常高，不容易起辉）6、阴极的通电可能有问题，检查一下电路连接是否正常
