镀膜材料及蒸发源的选择

1金属及非金属颗粒

铝颗粒、镍颗粒、铜颗粒、银颗粒、钛颗粒、硅颗粒、钒颗粒、镁颗粒、锡颗粒、铬颗粒、铟颗粒、金颗粒、银铜合金颗粒

2氧化物、化合物

钛钽合金颗粒、三氧化二铝颗粒、二氧化锆颗粒、五氧化三钛颗粒、氧化铒、钛酸镧颗粒

3氟化物

氟化镁、氟化镝、氟化镧颗粒

电阻蒸发：

蒸发温度1000-2000℃的材料可以用电阻加热作为蒸发源、产生热量使得蒸发材料的分子或原子获得足够大的动能而蒸发

蒸发源材料的选择

1高熔点材料

2减少蒸发源的污染

3蒸发源材料与薄膜材料不反应

4薄膜材料对蒸发源材料的湿润性

5常用的蒸发源材料有：钨坩埚、钼坩埚、钽坩埚、氧化铝坩埚、石墨坩埚

钼颗粒、钽颗粒、铌颗粒、硅颗粒、氟化镁颗粒、二氧化钛颗粒、氧化铝颗粒、氧化锡颗粒